結(jié)構(gòu)：退火爐爐門(mén)采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門(mén)提升動(dòng)力：爐門(mén)采用電動(dòng)升降，電動(dòng)葫蘆裝在爐門(mén)龍門(mén)架上方。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐門(mén)密封：本爐門(mén)采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動(dòng)壓緊和軟邊密封裝置，可使?fàn)t門(mén)與爐體自動(dòng)壓緊，確保爐子在生產(chǎn)過(guò)程中始終處于密封狀態(tài)，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環(huán)境，保證了爐溫均勻性，增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門(mén)密封裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安全可靠，維修方便。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺(tái)車(chē)爐中使用效果很好。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應(yīng)力及鑄件內(nèi)從在的殘余應(yīng)力而進(jìn)行的退火。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐去應(yīng)力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進(jìn)行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十?dāng)z氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當(dāng)升高到六百五十?dāng)z氏度到七百五十?dāng)z氏度不等，退火時(shí)間與退火溫度有關(guān)。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了防止去應(yīng)力退火后冷卻時(shí)再發(fā)生殘余應(yīng)力，應(yīng)緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

將工件完全奧氏體化后緩慢冷卻，接近平衡組織的退火。完全退火奧氏體化溫度一般選為Ac3加三十?dāng)z氏度到五十?dāng)z氏度，對(duì)于某些高合金鋼，為使碳化物固溶應(yīng)適當(dāng)提高奧氏體化溫度。為了改善低碳鋼的切削性能，可采用九百攝氏度到一百攝氏度的晶粒粗化退火。為了消除亞共析鋼鍛件、鑄件、焊接件的粗大魏氏組織，需將奧氏體化溫度提高到一千一百攝氏度到一千兩百攝氏度，隨后補(bǔ)充進(jìn)行常規(guī)完全退火。?

操作者應(yīng)遵守臺(tái)車(chē)式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細(xì)檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車(chē)間領(lǐng)導(dǎo)報(bào)告阻止發(fā)生觸電事故武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異?，F(xiàn)象。檢查爐門(mén)升降情況，臺(tái)車(chē)運(yùn)行正常。嚴(yán)禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進(jìn)入臺(tái)車(chē)式退火爐的爐體進(jìn)行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過(guò)溫度，否則會(huì)縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。

操作管理混亂，經(jīng)驗(yàn)不足。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐一是裝料制度變更頻繁，且針對(duì)性不強(qiáng)，尤其是中心焦炭沒(méi)有保證；二是爐溫控制偏低且波動(dòng)較大，鐵水溫度長(zhǎng)期在一千四百五十?dāng)z氏度以下，硫超標(biāo)事故經(jīng)常發(fā)生；武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為；風(fēng)量、風(fēng)壓不統(tǒng)一，有的班開(kāi)得高，有的班開(kāi)得低，頂壓不統(tǒng)一，壓差波動(dòng)大，料線不統(tǒng)一，手動(dòng)控制比較多，爐料落點(diǎn)難以規(guī)范，無(wú)規(guī)律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項(xiàng)管理精細(xì)化程度不夠，制度執(zhí)行不力。

首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護(hù)膜，延長(zhǎng)了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過(guò)程中，可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐來(lái)防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過(guò)程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長(zhǎng)度在攝氏度以內(nèi)。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐硅碳棒表面的實(shí)際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強(qiáng)度。在使用硅碳棒的時(shí)候，供電線與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發(fā)熱過(guò)多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運(yùn)行過(guò)程中熱膨脹而造成電源線松弛，應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。