箱式退火爐主要用途：主要用鋼制工件的淬火、正火、退火等常規(guī)熱處理之用的專用設(shè)備。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐箱式退火爐特點(diǎn)：電爐裝載量大、生產(chǎn)率高，特別適用于小、中型機(jī)件的熱處理加熱用，節(jié)能達(dá)30%，爐溫均勻，智能數(shù)顯表PID自動(dòng)控制爐溫，精密高；電爐裝御料方便，操作條件好；爐門與爐體的密封為自動(dòng)密封，無(wú)需人工密封；南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置，可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故。

爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐加熱元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐在闡述這個(gè)問(wèn)題前我們先來(lái)了解一下鑄件的生產(chǎn)過(guò)程：鑄件是通過(guò)加熱鑄件將其在爐內(nèi)融化成液體金屬澆鑄到與零件形狀相適應(yīng)的鑄造空腔中，待其冷卻凝固后，獲得具有一定形狀、尺寸和性能金屬零件毛坯。

故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會(huì)出現(xiàn)報(bào)警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報(bào)警具體如下：V101閥位報(bào)警、V105閥位報(bào)警加熱段煤氣換向報(bào)警加熱段空氣換向報(bào)警、保溫段煤氣換向報(bào)警、保溫段空氣換向報(bào)警。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設(shè)備由動(dòng)作部分和閥位反饋部分組成。動(dòng)作部分由電磁閥帶氣動(dòng)元件發(fā)生動(dòng)作。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐出現(xiàn)上述報(bào)警后，首先查看報(bào)警設(shè)備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。

加熱元件采用高溫合金電阻帶經(jīng)特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長(zhǎng)二到三倍，并且杜絕其在運(yùn)行中的斷路現(xiàn)象。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐退火爐的控溫系統(tǒng)采用多區(qū)PID智能控溫方法，利用可控硅三相過(guò)零觸法能自動(dòng)智能調(diào)節(jié)輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達(dá)到正負(fù)三攝氏度，有效確保工件不過(guò)燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達(dá)到百分之一百。

去應(yīng)力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當(dāng)溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應(yīng)力退火。南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐去應(yīng)力加熱溫度低，在退火過(guò)程中無(wú)組織轉(zhuǎn)變，主要適用于毛坯件及經(jīng)過(guò)切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應(yīng)力，穩(wěn)定工件尺寸及形狀，南京半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐減少零件在切削加工和使用過(guò)程中的形變和裂紋傾向。