不完全退火不完全退火是將鐵碳合金加熱到Ac1-Ac3之間溫度，達(dá)到不完全奧氏體化，隨之緩慢冷卻的退火工藝。不完全退火主要適用于中、高碳鋼和低合金鋼鍛軋件等，其目的是細(xì)化組織和降低硬度，保溫后緩慢冷卻。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐完全退火重結(jié)晶退火完全退火應(yīng)用于平衡加熱和冷卻時(shí)有固態(tài)相變(重結(jié)晶)發(fā)生的合金。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐其退火溫度為各該合金的相變溫度區(qū)間以上或以內(nèi)的某一溫度。加熱和冷卻都是緩慢的。合金于加熱和冷卻過(guò)程中各發(fā)生一次相變重結(jié)晶，故稱為重結(jié)晶退火，常被簡(jiǎn)稱為退火。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無(wú)脫離，可打開行程開關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí)，先于現(xiàn)場(chǎng)觀察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈，若兩個(gè)都不亮，則為電氣故障。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后，若有一個(gè)亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動(dòng)作，則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作，則為電氣故障。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來(lái)開發(fā)的一項(xiàng)行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐當(dāng)需要升溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間加長(zhǎng)，間斷時(shí)間減少；需要降溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間減少，間斷時(shí)間加長(zhǎng)。通過(guò)調(diào)節(jié)燃燒時(shí)間的占空比實(shí)現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過(guò)壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無(wú)需在線調(diào)整，即可實(shí)現(xiàn)空氣過(guò)剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場(chǎng)均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

在鑄造加熱爐內(nèi)，進(jìn)步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過(guò)高會(huì)引起晶粒長(zhǎng)大、氧化或過(guò)燒，嚴(yán)峻影響工件質(zhì)量。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐在熱處理過(guò)程中，沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點(diǎn)，然后突然冷卻，就能進(jìn)步鋼的硬度和強(qiáng)度；假如加熱到臨界溫度以下的某一點(diǎn)后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進(jìn)步。金屬或物料加熱時(shí)吸收的熱量與供入爐內(nèi)的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續(xù)式爐比間斷式爐的熱效率高，因?yàn)檫B續(xù)式爐的出產(chǎn)率高，并且是不間斷作業(yè)的。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產(chǎn)物量有關(guān)，熱值越高、燃燒產(chǎn)物量越低，燃燒溫度越高。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐空氣過(guò)剩系數(shù)：適當(dāng)?shù)目諝膺^(guò)剩系數(shù)，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過(guò)小，不完全燃燒；過(guò)大生成的煙氣量多，會(huì)使燃燒溫度降低助燃風(fēng)中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產(chǎn)物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內(nèi)產(chǎn)品傳熱速度。

該爐是供金屬機(jī)件、環(huán)件等在額定的溫度下進(jìn)行熱處理設(shè)備簡(jiǎn)介：本爐是由爐體與一個(gè)可移動(dòng)的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。沈陽(yáng)半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。