依據燃氣與空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。遼寧半導體外延生長爐長焰燃燒減去燃氣和空氣在燃燒器內不混合，噴出后靠擴散作用進行邊混合邊燃燒，火焰長。遼寧半導體外延生長爐短焰燃燒減去燃氣在燃燒器內與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃氣與空氣在燃燒器內或進燃燒器前完全混合，在燃燒器內或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。

操作保員到崗后服裝方面應正確穿戴勞保用品。操作退火爐設備前檢查推拉桿機構、爐門升降機構、傳動裝置是否良好，看爐內有無障礙物，箱是否放正確，有無漏電等。隨時注意和檢查爐溫與儀表讀數是否相符。遼寧半導體外延生長爐鍛件在底盤上要擺放整齊，如果鍛件掉在電爐絲旁，應停電取出，同時，在爐門上掛禁止合閘警示牌。遼寧半導體外延生長爐使用行車吊運物料工件過程中，應做到十不吊的規(guī)章制度。要加工或處理后的工件定點存放，不得占道，影響車間秩序。遵循5S標準來合理生產。

經冷塑性變形加工的工件加熱到再結晶溫度以上，保持適當時間，通過再結晶使冷變形過程中產生的晶體學缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強化效應和殘余應力的退火。遼寧半導體外延生長爐一般鋼材再結晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，遼寧半導體外延生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質量分數小于百分之零點二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達百分之六到百分之十五的范圍，則再結晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應避免在該范圍內變形。

爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。爐蓋支撐采用型鋼和導軌組合移動式。遼寧半導體外延生長爐加熱元件采用北京首鋼產的高電阻合金布置在爐側。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。遼寧半導體外延生長爐在闡述這個問題前我們先來了解一下鑄件的生產過程：鑄件是通過加熱鑄件將其在爐內融化成液體金屬澆鑄到與零件形狀相適應的鑄造空腔中，待其冷卻凝固后，獲得具有一定形狀、尺寸和性能金屬零件毛坯。

均勻化退火又稱擴散退火。遼寧半導體外延生長爐應用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。遼寧半導體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴散，來減輕化學成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內的化學成分不均勻性晶內偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間