退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。目的是降低硬度，改善切削加工性；大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐準(zhǔn)確的說(shuō)，退火是一種對(duì)材料的熱處理工藝，包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統(tǒng)金屬退火存在異同。在熱處理工藝中退火的常用設(shè)備是退火爐。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來(lái)開(kāi)發(fā)的一項(xiàng)行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐當(dāng)需要升溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間加長(zhǎng)，間斷時(shí)間減少；需要降溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間減少，間斷時(shí)間加長(zhǎng)。通過(guò)調(diào)節(jié)燃燒時(shí)間的占空比實(shí)現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過(guò)壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無(wú)需在線調(diào)整，即可實(shí)現(xiàn)空氣過(guò)剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場(chǎng)均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

等溫式退火是應(yīng)用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐對(duì)鋼來(lái)說(shuō)，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過(guò)共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時(shí)間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內(nèi)，等溫保持直到奧氏體全部轉(zhuǎn)變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐過(guò)共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來(lái)通常是出爐在空氣中冷卻。

操作管理混亂，經(jīng)驗(yàn)不足。大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐一是裝料制度變更頻繁，且針對(duì)性不強(qiáng)，尤其是中心焦炭沒(méi)有保證；二是爐溫控制偏低且波動(dòng)較大，鐵水溫度長(zhǎng)期在一千四百五十?dāng)z氏度以下，硫超標(biāo)事故經(jīng)常發(fā)生；大連半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為；風(fēng)量、風(fēng)壓不統(tǒng)一，有的班開(kāi)得高，有的班開(kāi)得低，頂壓不統(tǒng)一，壓差波動(dòng)大，料線不統(tǒng)一，手動(dòng)控制比較多，爐料落點(diǎn)難以規(guī)范，無(wú)規(guī)律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項(xiàng)管理精細(xì)化程度不夠，制度執(zhí)行不力。