采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。吉林半導體外延生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態(tài)。吉林半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時間的占空比實現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預先設定，無需在線調(diào)整，即可實現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設備，若無脫離，可打開行程開關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。吉林半導體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現(xiàn)場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。吉林半導體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實現(xiàn)自動化模糊控制，可靠性高且運行穩(wěn)定。吉林半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優(yōu)點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。吉林半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會出現(xiàn)報警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。吉林半導體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發(fā)生動作。吉林半導體外延生長爐出現(xiàn)上述報警后，首先查看報警設備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。