退火爐作用是將工件加熱到預(yù)定溫度，保溫一定的時(shí)間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐具體內(nèi)容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力，防止工件變形、開裂。軟化工件以便進(jìn)行切削加工。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐細(xì)化晶粒，改善組織以提高工件的機(jī)械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準(zhǔn)備。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；沈陽半導(dǎo)體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達(dá)到完全氧化，沈陽半導(dǎo)體外延生長爐燃燒產(chǎn)物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應(yīng)一定量的空氣。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐根據(jù)燃燒化學(xué)反應(yīng)方程式計(jì)算出來的單位燃料完全燃燒時(shí)所需的空氣量為理論空氣量。實(shí)際供應(yīng)的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實(shí)際空氣量。實(shí)際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過剩系數(shù)為1.05到1.15。

一般來講，鉬棒連續(xù)使用比斷續(xù)使用壽命要長得多，這是因?yàn)樵诠桡f棒冷卻過程中損壞大。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐如果當(dāng)電熱裝置停止工作，應(yīng)當(dāng)保持裝置處于熱狀態(tài)沈陽半導(dǎo)體外延生長爐硅鉬棒運(yùn)行的環(huán)境，硅鉬棒在氧化環(huán)境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時(shí)，硅鉬棒元件的壽命長，若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時(shí)輕易剝落，使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會(huì)隨著溫度變高，表面的氧化速度會(huì)越快，壽命會(huì)越短！在使用的過程中，盡量選擇并聯(lián)，這樣可以避免由于電阻負(fù)荷集中，造成損壞的情況