燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產(chǎn)物量有關(guān)，熱值越高、燃燒產(chǎn)物量越低，燃燒溫度越高。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐空氣過(guò)剩系數(shù)：適當(dāng)?shù)目諝膺^(guò)剩系數(shù)，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過(guò)小，不完全燃燒；過(guò)大生成的煙氣量多，會(huì)使燃燒溫度降低助燃風(fēng)中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產(chǎn)物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內(nèi)產(chǎn)品傳熱速度。

爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐加熱元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐在闡述這個(gè)問(wèn)題前我們先來(lái)了解一下鑄件的生產(chǎn)過(guò)程：鑄件是通過(guò)加熱鑄件將其在爐內(nèi)融化成液體金屬澆鑄到與零件形狀相適應(yīng)的鑄造空腔中，待其冷卻凝固后，獲得具有一定形狀、尺寸和性能金屬零件毛坯。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐目的是降低硬度，改善切削加工性消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。使經(jīng)過(guò)鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過(guò)程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過(guò)退火爐來(lái)消除內(nèi)應(yīng)力。?

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設(shè)備，若無(wú)脫離，可打開(kāi)行程開(kāi)關(guān)，檢查行程內(nèi)凸輪是否出現(xiàn)不到位情況，適當(dāng)調(diào)整使之弧度處壓上彈簧片即可。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點(diǎn)在動(dòng)作部分。檢查動(dòng)作部分時(shí)，先于現(xiàn)場(chǎng)觀察電磁閥兩插頭是否有一個(gè)亮燈，若兩個(gè)都不亮，則為電氣故障。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐然后，若有一個(gè)亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個(gè)電磁閥插座上輪流插拔試驗(yàn)，若汽缸不動(dòng)作，則為機(jī)械故障。若汽缸動(dòng)作，則為電氣故障。

工件加熱到高于Ac3或Ac1的溫度，保持適當(dāng)時(shí)間后，較快的冷卻到珠光體轉(zhuǎn)變溫度區(qū)間的適當(dāng)溫度并等溫保持，使奧氏體珠光體組織后在空氣中冷卻的退火。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐等溫退火的奧氏體化溫度一般與完全退火相同，對(duì)于合金含量較高的大型鑄鍛件可適當(dāng)提高加熱溫度。廣東半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐等溫溫度越低，退火后的硬度越高。 等溫退火后的組織與硬度均勻性優(yōu)于完全退火，比較適合于與大型合金鋼鑄件。