目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。安徽半導(dǎo)體外延生長爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹?，對環(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。安徽半導(dǎo)體外延生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，安徽半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時所放出的熱量一般室溫25攝氏度。安徽半導(dǎo)體外延生長爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時所放出的熱量。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，安徽半導(dǎo)體外延生長爐燃燒產(chǎn)物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等?？諝膺^剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應(yīng)一定量的空氣。安徽半導(dǎo)體外延生長爐根據(jù)燃燒化學(xué)反應(yīng)方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應(yīng)的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過剩系數(shù)為1.05到1.15。

操作管理混亂，經(jīng)驗不足。安徽半導(dǎo)體外延生長爐一是裝料制度變更頻繁，且針對性不強，尤其是中心焦炭沒有保證；二是爐溫控制偏低且波動較大，鐵水溫度長期在一千四百五十?dāng)z氏度以下，硫超標(biāo)事故經(jīng)常發(fā)生；安徽半導(dǎo)體外延生長爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為；風(fēng)量、風(fēng)壓不統(tǒng)一，有的班開得高，有的班開得低，頂壓不統(tǒng)一，壓差波動大，料線不統(tǒng)一，手動控制比較多，爐料落點難以規(guī)范，無規(guī)律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項管理精細(xì)化程度不夠，制度執(zhí)行不力。

等溫式退火是應(yīng)用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。安徽半導(dǎo)體外延生長爐對鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內(nèi)，等溫保持直到奧氏體全部轉(zhuǎn)變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；安徽半導(dǎo)體外延生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。