經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結(jié)晶溫度以上，保持適當(dāng)時(shí)間，通過(guò)再結(jié)晶使冷變形過(guò)程中產(chǎn)生的晶體學(xué)缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強(qiáng)化效應(yīng)和殘余應(yīng)力的退火。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐一般鋼材再結(jié)晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐保溫一到三個(gè)小時(shí)空冷，對(duì)含質(zhì)量分?jǐn)?shù)小于百分之零點(diǎn)二的普通碳鋼，在冷變形時(shí)臨界變形速度若達(dá)百分之六到百分之十五的范圍，則再結(jié)晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應(yīng)避免在該范圍內(nèi)變形。

在鑄造加熱爐內(nèi)，進(jìn)步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過(guò)高會(huì)引起晶粒長(zhǎng)大、氧化或過(guò)燒，嚴(yán)峻影響工件質(zhì)量。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐在熱處理過(guò)程中，上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點(diǎn)，然后突然冷卻，就能進(jìn)步鋼的硬度和強(qiáng)度；假如加熱到臨界溫度以下的某一點(diǎn)后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進(jìn)步。金屬或物料加熱時(shí)吸收的熱量與供入爐內(nèi)的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續(xù)式爐比間斷式爐的熱效率高，因?yàn)檫B續(xù)式爐的出產(chǎn)率高，并且是不間斷作業(yè)的。

一般來(lái)講，鉬棒連續(xù)使用比斷續(xù)使用壽命要長(zhǎng)得多，這是因?yàn)樵诠桡f棒冷卻過(guò)程中損壞大。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐如果當(dāng)電熱裝置停止工作，應(yīng)當(dāng)保持裝置處于熱狀態(tài)上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐硅鉬棒運(yùn)行的環(huán)境，硅鉬棒在氧化環(huán)境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時(shí)，硅鉬棒元件的壽命長(zhǎng)，若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時(shí)輕易剝落，使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會(huì)隨著溫度變高，表面的氧化速度會(huì)越快，壽命會(huì)越短！在使用的過(guò)程中，盡量選擇并聯(lián)，這樣可以避免由于電阻負(fù)荷集中，造成損壞的情況

單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐當(dāng)燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時(shí)所放出的熱量一般室溫25攝氏度。上海半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時(shí)生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時(shí)所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時(shí)所放出的熱量。