通過風機的循環(huán)使退火爐的爐腔內(nèi)溫度分布均勻，退火爐的兩個爐腔室是可以獨自運行的，提高了退火效率，每個爐腔內(nèi)都有兩臺風機，卻沒有空氣過濾裝置，跟實際情況有出入。廣西半導體外延生長爐通過風機循環(huán)使爐內(nèi)溫度分布均勻，通過熱處理重組薄膜材料微觀結構，提高穩(wěn)定性及轉(zhuǎn)化效率。廣西半導體外延生長爐將鑄件加熱到九百五十攝氏度左右 ，保溫一定時間后適當冷卻，用以消除鋼鐵鑄件和焊接件的內(nèi)應力。對于鋼鐵制品加熱后開始形成奧氏體的溫度以下一百到二百攝氏度，保溫后在空氣中冷卻，即可消除內(nèi)應力。

經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結晶溫度以上，保持適當時間，通過再結晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強化效應和殘余應力的退火。廣西半導體外延生長爐一般鋼材再結晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，廣西半導體外延生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質(zhì)量分數(shù)小于百分之零點二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達百分之六到百分之十五的范圍，則再結晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應避免在該范圍內(nèi)變形。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時也進行球化退火。廣西半導體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據(jù)具體情況進行選擇。在稍低于Ar1溫度長時間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區(qū)間循環(huán)加熱和冷卻。廣西半導體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時間再冷卻到室溫。對過共析鋼，先進行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網(wǎng)狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時間保溫進行球化退火。

操作管理混亂，經(jīng)驗不足。廣西半導體外延生長爐一是裝料制度變更頻繁，且針對性不強，尤其是中心焦炭沒有保證；二是爐溫控制偏低且波動較大，鐵水溫度長期在一千四百五十攝氏度以下，硫超標事故經(jīng)常發(fā)生；廣西半導體外延生長爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為；風量、風壓不統(tǒng)一，有的班開得高，有的班開得低，頂壓不統(tǒng)一，壓差波動大，料線不統(tǒng)一，手動控制比較多，爐料落點難以規(guī)范，無規(guī)律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項管理精細化程度不夠，制度執(zhí)行不力。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。廣西半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。廣西半導體外延生長爐使經(jīng)過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內(nèi)應力，要通過退火爐來消除內(nèi)應力。

采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。廣西半導體外延生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發(fā)的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態(tài)。廣西半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時間的占空比實現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預先設定，無需在線調(diào)整，即可實現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。