首先,硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜,從而生成抗氧化保護膜,延長了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過程中,可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。大連半導(dǎo)體外延生長爐來防止硅碳棒的裂化,其次在使用硅碳棒的過程中,硅碳棒表面的溫度越高,表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長度在攝氏度以內(nèi)。大連半導(dǎo)體外延生長爐硅碳棒表面的實際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強度。在使用硅碳棒的時候,供電線與元件間必須有良好的接觸,避免電阻發(fā)熱過多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運行過程中熱膨脹而造成電源線松弛,應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。
加熱元件采用高溫合金電阻帶經(jīng)特殊加工成形,采用耐熱陶瓷螺釘固定,既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性,從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍,并且杜絕其在運行中的斷路現(xiàn)象。大連半導(dǎo)體外延生長爐退火爐的控溫系統(tǒng)采用多區(qū)PID智能控溫方法,利用可控硅三相過零觸法能自動智能調(diào)節(jié)輸出功率百分比,使溫度完全按照工藝編程指令要求。大連半導(dǎo)體外延生長爐控溫精度小于等于一攝氏度,爐膛有效空間溫度均勻性達到正負(fù)三攝氏度,有效確保工件不過燒,不熔氧,又能力保證工件熱處理合格率達到百分之一百。
調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障,先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源,打開現(xiàn)場閥蓋,在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下,用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。大連半導(dǎo)體外延生長爐若旋轉(zhuǎn)感覺很卡,則為機械故障,若感覺旋轉(zhuǎn)順暢,則為電氣故障。大連半導(dǎo)體外延生長爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外,其余模擬量不參與控制。
操作保員到崗后服裝方面應(yīng)正確穿戴勞保用品。操作退火爐設(shè)備前檢查推拉桿機構(gòu)、爐門升降機構(gòu)、傳動裝置是否良好,看爐內(nèi)有無障礙物,箱是否放正確,有無漏電等。隨時注意和檢查爐溫與儀表讀數(shù)是否相符。大連半導(dǎo)體外延生長爐鍛件在底盤上要擺放整齊,如果鍛件掉在電爐絲旁,應(yīng)停電取出,同時,在爐門上掛禁止合閘警示牌。大連半導(dǎo)體外延生長爐使用行車吊運物料工件過程中,應(yīng)做到十不吊的規(guī)章制度。要加工或處理后的工件定點存放,不得占道,影響車間秩序。遵循5S標(biāo)準(zhǔn)來合理生產(chǎn)。
該爐是供金屬機件、環(huán)件等在額定的溫度下進行熱處理設(shè)備簡介:本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。大連半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑,爐子中心采用大圈套小圈做法,里外加熱。大連半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋采用液壓升降,電機控制自動行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制,精度高。
原燃料質(zhì)量波動一是大量使用國內(nèi)低品位劣質(zhì)礦,燒結(jié)礦品位只有百分之四十七,含量有時高達百分之八十五以上,堿金屬含量特高,一般高出標(biāo)準(zhǔn)五倍以上;大連半導(dǎo)體外延生長爐二是退火爐爐料結(jié)構(gòu)變化大,大連半導(dǎo)體外延生長爐二零一二年年元月份球團車間檢修,大量配加低品質(zhì)馬來西亞塊礦;三是燒結(jié)礦質(zhì)量下降,強度、低溫還原粉化、還原性都變差,同時由于燒結(jié)蒸氣不足,混和料溫低,燒結(jié)機漏風(fēng)嚴(yán)重,造成燒結(jié)礦產(chǎn)量、質(zhì)量下降。