調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開現(xiàn)場閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。常州半導(dǎo)體外延生長爐若旋轉(zhuǎn)感覺很卡，則為機(jī)械故障，若感覺旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。常州半導(dǎo)體外延生長爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應(yīng)力及鑄件內(nèi)從在的殘余應(yīng)力而進(jìn)行的退火。常州半導(dǎo)體外延生長爐去應(yīng)力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進(jìn)行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十?dāng)z氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當(dāng)升高到六百五十?dāng)z氏度到七百五十?dāng)z氏度不等，退火時(shí)間與退火溫度有關(guān)。常州半導(dǎo)體外延生長爐為了防止去應(yīng)力退火后冷卻時(shí)再發(fā)生殘余應(yīng)力，應(yīng)緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

降低硬度，改善切削加工性。消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒調(diào)整組織，消除組織缺陷。常州半導(dǎo)體外延生長爐均勻材料組織和成分，改善材料性能或?yàn)橐院鬅崽幚碜鼋M織準(zhǔn)備。常州半導(dǎo)體外延生長爐在生產(chǎn)中，退火工藝應(yīng)用很廣泛。根據(jù)被加工金屬件對退火的不同需求，退火的工藝規(guī)范有多種，常用的有完全退火、球化退火、和去應(yīng)力退火等。

操作者應(yīng)遵守臺(tái)車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細(xì)檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；常州半導(dǎo)體外延生長爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領(lǐng)導(dǎo)報(bào)告阻止發(fā)生觸電事故常州半導(dǎo)體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異?，F(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺(tái)車運(yùn)行正常。嚴(yán)禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進(jìn)入臺(tái)車式退火爐的爐體進(jìn)行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過溫度，否則會(huì)縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。