通過風(fēng)機(jī)的循環(huán)使退火爐的爐腔內(nèi)溫度分布均勻，退火爐的兩個(gè)爐腔室是可以獨(dú)自運(yùn)行的，提高了退火效率，每個(gè)爐腔內(nèi)都有兩臺(tái)風(fēng)機(jī)，卻沒有空氣過濾裝置，跟實(shí)際情況有出入。南京半導(dǎo)體外延生長爐通過風(fēng)機(jī)循環(huán)使?fàn)t內(nèi)溫度分布均勻，通過熱處理重組薄膜材料微觀結(jié)構(gòu)，提高穩(wěn)定性及轉(zhuǎn)化效率。南京半導(dǎo)體外延生長爐將鑄件加熱到九百五十?dāng)z氏度左右 ，保溫一定時(shí)間后適當(dāng)冷卻，用以消除鋼鐵鑄件和焊接件的內(nèi)應(yīng)力。對(duì)于鋼鐵制品加熱后開始形成奧氏體的溫度以下一百到二百攝氏度，保溫后在空氣中冷卻，即可消除內(nèi)應(yīng)力。

單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，南京半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時(shí)所放出的熱量一般室溫25攝氏度。南京半導(dǎo)體外延生長爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時(shí)生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時(shí)所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時(shí)所放出的熱量。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。南京半導(dǎo)體外延生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項(xiàng)行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。南京半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)需要升溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間加長，間斷時(shí)間減少；需要降溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間減少，間斷時(shí)間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時(shí)間的占空比實(shí)現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無需在線調(diào)整，即可實(shí)現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場(chǎng)均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

在鑄造加熱爐內(nèi)，進(jìn)步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過高會(huì)引起晶粒長大、氧化或過燒，嚴(yán)峻影響工件質(zhì)量。南京半導(dǎo)體外延生長爐在熱處理過程中，南京半導(dǎo)體外延生長爐假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點(diǎn)，然后突然冷卻，就能進(jìn)步鋼的硬度和強(qiáng)度；假如加熱到臨界溫度以下的某一點(diǎn)后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進(jìn)步。金屬或物料加熱時(shí)吸收的熱量與供入爐內(nèi)的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續(xù)式爐比間斷式爐的熱效率高，因?yàn)檫B續(xù)式爐的出產(chǎn)率高，并且是不間斷作業(yè)的。