燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產(chǎn)物量有關(guān)，熱值越高、燃燒產(chǎn)物量越低，燃燒溫度越高。重慶半導(dǎo)體外延生長爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。重慶半導(dǎo)體外延生長爐空氣過剩系數(shù)：適當?shù)目諝膺^剩系數(shù)，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會使燃燒溫度降低助燃風中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產(chǎn)物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內(nèi)產(chǎn)品傳熱速度。

工件加熱到高于Ac3或Ac1的溫度，保持適當時間后，較快的冷卻到珠光體轉(zhuǎn)變溫度區(qū)間的適當溫度并等溫保持，使奧氏體珠光體組織后在空氣中冷卻的退火。重慶半導(dǎo)體外延生長爐等溫退火的奧氏體化溫度一般與完全退火相同，對于合金含量較高的大型鑄鍛件可適當提高加熱溫度。重慶半導(dǎo)體外延生長爐等溫溫度越低，退火后的硬度越高。 等溫退火后的組織與硬度均勻性優(yōu)于完全退火，比較適合于與大型合金鋼鑄件。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。重慶半導(dǎo)體外延生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態(tài)。重慶半導(dǎo)體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時間的占空比實現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無需在線調(diào)整，即可實現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

原燃料質(zhì)量波動一是大量使用國內(nèi)低品位劣質(zhì)礦，燒結(jié)礦品位只有百分之四十七，含量有時高達百分之八十五以上，堿金屬含量特高，一般高出標準五倍以上；重慶半導(dǎo)體外延生長爐二是退火爐爐料結(jié)構(gòu)變化大，重慶半導(dǎo)體外延生長爐二零一二年年元月份球團車間檢修，大量配加低品質(zhì)馬來西亞塊礦；三是燒結(jié)礦質(zhì)量下降，強度、低溫還原粉化、還原性都變差，同時由于燒結(jié)蒸氣不足，混和料溫低，燒結(jié)機漏風嚴重，造成燒結(jié)礦產(chǎn)量、質(zhì)量下降。